耐热性在真空系统中，常常要对系统或元件进行去气，这往往要通过烘烤来完成。这样对橡胶密封件要求有一定的耐热性，以保证烘烤去气的顺利进行。一般烘烤温度在120℃以下和10-5Pa的真空度下，可以采用丁基或丁晴橡胶；如果要求更高的烘烤温度，并且要求在超高真空环境中工作的，则需采用氟橡胶。
耐压缩变形性在真空系统中，大量的真空密封件，都处于压缩状态下工作。为了使密封件具备密封的可靠性和保证有一定的密封寿命，真空密封橡胶应具有较小的压缩变形值（*后小于35%），同时要求具有比较缓慢的压缩应力松弛速度（即压缩应力松弛系数较大），这样才能保证真空密封件具有较高的工作寿命。
丁晴橡胶对于非极性气体渗透性低，也是由于它有晴基的极性基团的影响所致。因此，丁晴橡胶的丙烯晴含量越高，则其气透性越低。温度对橡胶的气透性影响很大，温度越高，气透性越大。另外，不同的气体在不同橡胶中的气透性也不一样。
