退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。那么以下是介绍退火炉处理泄漏点几大方法：
1. 降低硬度，软化工件，改进切削加工性。2. 改进或消除钢铁在铸造、锻压、轧制和焊接过程中造成的各种组织缺陷以及残余应力，减少工件变形、开裂或裂纹倾向。
3. 细化晶粒，改进组织以提高工件的机械性能，消除组织缺陷。
4. 均匀材料组织和成分，改进材料性能或为以后热处理，如退火、回火做好组织准备。
经检查发现泄漏后，需要及时封堵，才能达到改进炉内气氛的效果。对焊缝开裂部位进行补焊；已经老化或损坏的密封垫圈要更换；对轮动的螺栓进行坚固等。
